米兰体育app官网入口:上海广川科技请求晶圆升降设备及其晶圆加工设备专利处理波纹管升降过程中因歪曲、折叠反常形成的颤动问题

　　国家知识产权局信息数据显现，上海广川科技有限公司请求一项名为“一种晶圆升降设备及其晶圆加工设备”的专利，公开号CN121075999A，请求日期为2025年9月。专利摘要显现，本发明供给了一种晶圆升降设备及其晶圆加工设备，其间该设备包含：升降单元、承载单元、封接组件，封接组件包含：套筒、引导模块、动轴模组，动轴模组包含：动轴件、转接件、波纹管、法兰件，波纹管两头别离与动轴件、法兰件衔接，动轴件的底座经转接件与升降单元的弹性端衔接、顶部与承载单元衔接，套筒与升降单元衔接，套在动轴模组外，法兰件与套筒顶部开口衔接，以使动轴件的轴杆经波纹管与套筒内腔阻隔，并经法兰件开口向套筒外伸，套筒侧壁设有行程窗，引导模块固定在套筒上，其引导端穿过行程窗与动轴件衔接，以协同套筒从轴向、径向约束波纹管的折叠/拉伸轨道。籍此以处理波纹管在升降过程中因歪曲、折叠反常形成的升降颤动问题。

　　天眼查资料显现，上海广川科技有限公司，成立于2019年，坐落上海市，是一家以从事科技推广和使用服务业为主的企业。企业注册资本5398万人民币。经过天眼查大数据分析，上海广川科技有限公司参加招投标项目4次，产业线条，此外企业还具有行政许可21个。

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